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本文摘要:前不久,马来西亚高新科技设计大学JoelK.W.Yang专家教授(通讯作者)精英团队,初次报道了用以激光平写成技术性复印机出有10纳米级的悬在空中纳米网格。该精英团队寻找根据操控激光扫描仪的速率及方位,顺应高聚物的支撑力具有,能够复印机出有10纳米级的悬在空中纳米线。

网格

根据双光量子单个的三维激光平写成技术性受制于透射无穷大,促使目前的成熟激光平写成技术性的无穷大限度被允许在100纳米级别。搭建高些的撰写限度无穷大通常务必对实验仪器和单个原材料进行细腻的管控,扩大了试验的成本费和复杂性。

因而,发展趋势一个基本上根据规范的三维激光平写成仪器设备的图案化方式来搭建非常高的复印机无穷大是十分最重要的。文章内容中展览的方式能够比较简单地根据调整撰写标准,必需撰写特小规格。

前不久,马来西亚高新科技设计大学JoelK.W.Yang专家教授(通讯作者)精英团队,初次报道了用以激光平写成技术性复印机出有10纳米级的悬在空中纳米网格。该精英团队寻找根据操控激光扫描仪的速率及方位,顺应高聚物的支撑力具有,能够复印机出有10纳米级的悬在空中纳米线。

在其中最薄的线框均值7纳米,彻底相提并论现阶段精密度最少的表层图案化技术性。该方式在作为复印机20纳米级的悬在空中网格时可超出80%的良品率。

利用这方式,该精英团队复印机出有超过纵向间隔为33纳米的悬在空中纳米网格。另外,这种纳米网格能够用以制冷掩板生产制造纳米级的金属材料间隔。涉及到成效认为题“Sub-10-nmSuspendedNano-WebFormationbyDirectLaserWriting”公布发布在NanoFutures上。

利用

图1:任意温度场vs导向性温度场vs长期化学交联全过程的简略和結果(a-c)任意温度场:高聚物分布均匀任意溶解,组成杂乱无章的纳米构造。通常是大构造的副产品。

(d-f)导向性温度场:利用高过阀值的激光进行导向性,组成有规律性的纳米构造。可复印机10纳米级其他构造(g-i)长期的化学交联全过程:激光抗压强度小于阀值,造成充裕多的高聚物组成宽敞的构造。这类构造通常在100纳米级别。

图2:激光扫描仪方位的危害及纳米网格的外貌息息相关(a)A和B是电子器件扫面显微镜图片,展览了在非常低的激光抗压强度下,纳米线框展示出了随扫瞄方位转变的非对称。C-F列举了各有不同激光抗压强度下线框总宽及非对称的转变(b)展览了三个各有不同主要参数随激光抗压强度的转变,分别是良品率(Yield),总宽比(Widthratio–作为比较线框的非对称)及超过总宽(FeatureSize)。图3:超过总宽的纳米线展览了超过10纳米的线框。

图4:纵向间隔的无穷大A-D为下图中各有不同激光抗压强度下的事例。精确测量的纵向间距强调,利用复印机高宽比劣及特细的纳米线框,30纳米上下的纵向间隔是可完成的。图5:利用悬在空中纳米网格做为制冷掩膜(a-b)是利用复印机高宽比劣及细线框来避免 不务必的任意单个,特细且整齐的间隔能够搭建。(c-d)做为比照,若纳米线框都复印机在同一高宽比,不务必的任意单个不容易损坏设计方案的整齐性。

【总结】试验结果显示,根据操控激光扫描仪速率及方位,10纳米级的纳米网格是可完成的。利用复印机高宽比劣及特细的纳米网格,从而能够搭建30纳米级的纵向间隔及其超过且整齐的金属材料间隔。此项科学研究展览一种新的有可能,即利用目前成熟的激光复印机技术性,10纳米级的纳米构造也是能够搭建。

现阶段,初始的体制仍未基本上明确清了,该研究组因此以着眼于更为多涉及到试验来验证体制及其完善该方式,促使复印机随意样子的10纳米级三维纳米构造沦落有可能。该成效更进一步扩展了激光复印机技术性的用以范畴。


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